1、前言

        在半導體行業板材涂料和集成體系電源線路加工過程中，涂料、晶圓、心片的檢驗是必不能夠少的要素。現在半導體行業板材涂料檢驗能力的不斷發展，數據源表SMU搭配檢測器臺的體系搭配現在已經被具有廣泛性用途于涂料/細微元功率器件的電學性安全驗證中。數據源表SMU享有源測功能表，需引起功率-電流電壓(I-V)性斜率，是半導體行業板材涂料涂料、元功率器件電使用性能定性分析測定的本質；檢測器臺有速騰主動檔、半主動和全主動五種，給出檢驗需進行生活配套的貨品才可以。在選則時須注重檢測器的所選原料與針尖的直徑不低于與造型，檢測器所選原料各種不同，其輸出阻抗也是不同；與此同時，檢測器尖偏磨和危害也會對檢驗沒想到出現影晌。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、檢測器、DUT接入提示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        各種測試圖片探針臺與源表的相相連普遍有2種，一類食用同中線相相連，別的類食用三同中線相相連。當精確測量小感應直流電壓(nA、pA)時，應食用三同軸轉移模快和三同中線纜。在聯網源表防護鍴的各種測試圖片線路中，致使三同軸的防護層與內芯區間內是等電勢差，不也會有漏感應電人流生，可能加快小感應直流電壓各種測試圖片控制精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣層；3內屏幕層；4后面層；5外屏幕層；6外保護套）

圖：三同定位軸線纜等效控制電子電路圖

  上圖右圖為三同中軸電纜線等效線路圖，輸出高端大氣HI和Guard期間的電勢差可以說為0，所以清除電纜線本身的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系類電流源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸拼接器與普通的兩芯拼接器無所不一樣，可互相接駁信息、接地系統和攔截層，攔截郊果好。和多芯線材相信，三同基準面材組成簡短，可靠的高朝；和兩芯同基準面材相信，都具有更多的攔截性能和小信息的輸送性能。三同基準面材的拼接手段應用了GUARD信息，起著了攔截用，更影響于小信息的測試。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

操作杜邦線轉BNC母頭來進行連入；

- 三同軸連接 -

動用三同軸電話轉接控制器對其進行拼接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

真接動用三同基準面完成對接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將尋常的三同軸更新為超高壓常用三同軸網；直流電三同軸連接管的擊穿電壓功能有較強，普賽斯動用的直流電三同軸連接管會擊穿電壓3500V。

圖：左-高壓變壓器三同軸、右-普通的三同軸

HCPL 100大電流源表

大電流值大小值預估時，單根探頭限度的電流值大小值十分有限，電流值大小值過大將會會給予燒針這種現象，的影響測試軟件報告，如此需求操作多探頭串并聯。

圖：多電極串聯示圖

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面探針接示意圖

圖：異面探針相連接提醒

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。