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用心于半導體器件電功效測試圖片

IC芯片電性能參數測試指南

來源:admin 時刻:2024-05-14 08:56 打開網頁量:3507
        字母化企業戰略轉型寬帶提速,5G 、人力智慧及云服務高使用性能圖像匹配(AI/HPC)的利用牽動融合用電線路(Integrated Circuit, IC)技術水平不息提升等級,基帶芯片用電線路構造更復雜的程度和電氣元件融合度保持延長,試驗軟件困難和試驗軟件人工成本亦伴隨著持續增長。


集成電路測試貫穿了從設計、生產到實際應用的全過程,大致分為:

- 規劃第一階段的規劃安全驗證檢查- 晶圓營造的階段的流程監視器測驗- 芯片封裝前的晶圓測試軟件- 封裝形式后的制成品測試儀


芯片測試應用現狀

        芯片測試作為芯片設計、生產、封裝、測試流程中的重要步驟,是使用特定儀器,通過對待測器件DUT(Device Under Test)的檢測,區別缺陷、驗證器件是否符合設計目標、分離器件好壞的過程。其中直流參數測試是檢驗芯片電性能的重要手段之一,常用的測試方法是FIMV(加電流測電壓)FVMI(加電阻值測交流電)

        傳統的集成ic電的性能指標軟件可以數臺汽車電子儀表盤盤去,如電壓值源、電流大小源、萬用表等,以至于由數臺汽車電子儀表盤盤形成的平臺可以分離去編程序、同步控制、聯系、測量方法和進行分析,階段很有難度又需時,又占地量過大測評軟件臺的空間,有時動用單用途的汽車電子儀表盤盤和激勵機制源還出現很有難度的相護間激發控制,有更好 的不判別性及很慢的發送線發送訪問速度等疵點,無非提供高質量率測評軟件的要。

        實施芯片電性能測試的最佳工具之一是數字8源表(SMU),數字源表可作為獨立的恒壓源或恒流源、電壓表、電流表和電子負載,支持四象限功能,可提供恒流測壓及恒壓測流功能,可簡化芯片電性能測試方案。


        此外,由于芯片的規模和種類迅速增加,很多通用型測試設備雖然能夠覆蓋多種被測對象的測試需求,但受接口容量和測試軟件運行模式的限制,無法同時對多個被測器件(DUT)進行測試,因此規模化的測試效率極低。特別是在生產和老化測試時,往往要求在同一時間內完成對多個DUT的測試,或者在單個DUT上異步或者同步地運行多個測試任務。


        基于普賽斯CS系列多通道插卡式數字源表搭建的測試平臺,可進行多路供電及電參數的并行測試,高效、精確地對芯片進行電性能測試和測試數據的自動化處理。主機采用10插卡/3插卡結構,背板總線帶寬高達 3Gbps,支持 16 路觸發總線,滿足多卡設備高速率通信需求;匯集電壓、電流輸入輸出及測量等多種功能,具有通道密度高、同步觸發功能強、多設備組合效率高等特點,最高可擴展至40通道

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圖1:普賽斯CS系插卡式源表

(10插卡及3插卡,高至40通路)


基于數字源表SMU的芯片測試方案

        適用普賽斯號碼源表實施電源芯片的開跳閘檢驗軟件儀(Open/Short Test)、漏電流檢驗軟件儀(Leakage Test)已經DC性能檢驗軟件儀(DC Parameters Test)。

1、開短路測試(O/S測試)

開出現短路測式(Open-Short Test,也稱持續性或遇到測式),應用于驗證通過測式體統與功率器件所有引腳的電遇到性,測式的步驟是轉借對地養護二級管做好的,測式接連線路下列已知:

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圖2:開發生故障測試方法高壓線路聯系示圖

2、漏電流測試

漏電流檢測,也叫為Leakage Test,漏電流檢測的目標其主要是驗測錄入Pin腳包括高阻情況下下的輸入Pin腳的特性阻抗需不需要夠高,檢測接觸電路系統如表一樣:

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圖3:漏電流測試圖片層面無線連接提醒

3、DC參數測試

DC基本因素值的測驗軟件,普通有的是Force直流電測驗軟件的交流電壓某些Force的交流電壓測驗軟件直流電,最包括是測驗軟件抗阻性。普通繁多DC基本因素值均會在Datasheet外面標注,測驗軟件的最包括目地是切實保障處理器的DC基本因素值值適用原則:

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圖4:DC技術參數軟件測試配電線路聯接提示

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測試案例

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測試儀程序硬件配置


Case 01 NCP1377B 開短路測試

        檢查英文 PIN 腳與 GND 兩者相互連接動態,檢查英文過程中中SMU采用3V量限,施加壓力-100μA交流的電壓,限壓-3V,測量方法交流的電壓報告單表 1 如圖是,交流的電壓報告單在-1.5~-0.2 兩者,檢查英文報告單 PASS。

*試驗電路進行連接參照物圖2

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圖5:NCP1377B開串電測評報告




Case 02 TLP521 光電耦合器直流參數測試

        光電材料合體器大部分由倆個分成小組成:光的反射端及光的推送端。光的反射端大部分由會亮電子元器件大家庭中的一員-穩壓管制成,電子元器件大家庭中的一員-穩壓管的管腳為光耦的投入端。光的推送端大部分是光敏結晶管, 光敏結晶管是應用 PN 結在加入的反向的方式給回的方式給回電阻功率時,在光束強光照下反向的方式給回的方式給回電阻功率由大變小的道理來工作任務的,結晶管的管腳為光耦的打出端。        事例選擇另買臺SMU去量測,買臺SMU與配件輸進端聯接,看作恒流源驅動軟件出現發亮場效應管并量測輸進端相關的性能指標,另買臺SMU與配件效果端聯接,看作恒壓源并量測效果店鋪推廣相關的性能指標。


*測試的線路相連接依據圖4


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圖6:BVECO 考試數據統計及擬合曲線

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圖7:ICEO試驗統計數據及線條

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圖8:插入特征參數線條

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圖9:的輸出性曲線美


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